1、液態環境總顆粒數（通過模擬測試潔凈抹布在液態環境下實際使用過程中產生的顆粒總數，確定抹布在潔凈環境中的適應性），一般計算≥0.5μm和≥5μm的顆粒數，單位是（millionparticles/m2)，顆粒越少表示抹布性能越好。
2、空載顆粒總數（測量抹布（或其它材料）在產生與實際使用中的應力類似的應力的情況下在干燥狀態下釋放的空載顆粒的數），一般計算≥0.5μm的顆?？倲?單位Particles/m2/ft3)。
3、纖維釋放數（通過測量抹布在液態環境中承受特定量的應力（模擬實際使用）后的總纖維負載數。一般計算＞100微米的纖維數目，單位fibers/平米。
4、不揮發殘余物測試。
5、吸附能力（吸附速度和吸附量，吸附速度越快吸附量越大性能越好）。
6、更換過濾器的過程，不能觸碰過濾器的濾芯表面，四周密封無漏氣。更換完畢后，潔凈室不能立馬投入使用中，需要檢測是否合格。
無塵檢測主要看幾個方面：首先檢基本特性，看離子數是否合格，出風口風速如何。盡量多檢測幾個點，如果不放心可以請第三方檢測機構代為檢測。風速不夠，或者需要局部凈化可選擇FFU來進行補充。