無塵室防止微粒子污染的幾項基本原則

一、無塵室不攜入
（1） 作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；
（2） 進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等；
（3） 通過時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室；
（4） 機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室；
（5） 無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。  
 二、無塵室不發(fā)生
在控制zui大污染源–人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到zui小限度應采取以下對策：
（1） 減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；
（2） 采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；
（3） 采用發(fā)塵小的潤滑油；
（4） 機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
三、無塵室不儲備
若能*實施“不攜入”技術，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性在zui高等級的無塵室中從天花板到地面，*除去超凈工作臺微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。
四、無塵室排除、除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。