無塵室潔凈度定期檢測及測量標準

無塵室潔凈度定期檢測及測量標準
1、為了保證無塵室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對無塵室內的潔凈度進行檢測。
2、檢測測試設備：激光粒子記數器。
3、檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區域進行一次檢測。
4、檢測條件：靜態潔凈度測試。
5、數據收集整理：將每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存，并在每個季度末（或下季度初）給各部門發該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。
6、各潔凈區域潔凈級別標準：按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。
潔凈等級標準相當于ISO級別等效于GB級別
K-1系統劃片區域
K-1系統改造前為靜態10萬級 CLASS 7
CLASS 8 CLASS 7
CLASS 8
K-2系統包封區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-3系統搪錫區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-4系統測試區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3
K-8系統電鍍區域靜態30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3